스퍼터링 타겟 베이스

Backing Tube
사이즈 / Size
~10.5G (~3900mm)
소재 / Materials
Titanium Gr2, Stainless Steel 304, Steel, Copper
용도 / Use
Backing Tube는 디스플레이 패널, 솔라 패널 또는
유리 표면에 박막 증착(Thin Film Deposition)을 시켜주는
회전형 스퍼터링 타겟의 베이스입니다.
  • Straight Type
  • Flange Type
  • Spiral Type
Backing Plate
사이즈 / Size
~8.5G
소재 / Materials
Titanium Gr2, Copper
용도 / Use
Backing Plate는 솔라 패널 또는 유리 표면에
박막 증착(Thin Film Deposition)을 시켜주는
평면 스퍼터링 타겟의 베이스입니다.
  • Backing Plate
  • Cu Backing Plate, Dia 205mm x 4mmT
  • Cu PLATE 9T
  • Cu Plate 310mm x 9mmT
  • Dia 3'' x 3mmT
  • Dia 338mm x 8mmT